低温等离子降解气态污染物的机理是：首先，高能电子直接进攻有机污染物，通过碰撞将能量转移到污染物的分子或原子中，获得能量的分子或原子被激发，部分分子会被电离为活性基团；其次，活性基团从高能激发态向下跃迁，会产生紫外光子，其直接与有害气体进行反应，使得气体分子键断裂得以降解；最后，活性粒子可直接降解气态污染物，它与其他分子作用产生新的自由基和激发物质，可进一步降解低相对分子质量的酸等化合物。

        A厂实际生产过程中，需要及时处理大流量、低浓度的废气，不得不引入辅助废气处理设备。经过多方案比选，最后选用低温等离子废气处理设备对洗涤塔后废气进行处理。

        A厂主要有害污染物是甲苯和二甲苯，故低温等离子设备匹配计算以甲苯、二甲苯计，具体如表1所示。

        经计算可知：甲苯与氧气反应的物质的量比为1∶9，相对分子质量之比为23∶36；二甲苯与氧气反应的物质的量比为2∶21，相对分子质量之比为53∶84。同理可知：甲苯与臭氧反应的物质的量比为1∶6，相对分子质量之比为23∶72；二甲苯与臭氧反应的物质的量比为1∶7，相对分子质量之比为53∶168。甲苯中C6H5CH2—H 与C6H5—CH3 的键能分别为317和414eV，而苯环中的C—H 和C—C 键能分别是419和510~513eV，由此可见，C6H5CH2—H 最易被氧化。

        综上所述：23g甲苯与72g臭氧进行反应生成无害物质，而53g二甲苯与168g臭氧进行反应生成无害物质。实际匹配过程一般按照理论量的1.5倍配置低温等离子设备，以保证处理效率。该方案所匹配的防爆型CD-AOI低温等离子设备的等离子产生量（以臭氧计）为300 g/h，而管道测得风量为80m3/h，最高质量浓度为800 mg/m3, 即每小时约产生70g污染物。可见，所选设备完全能够满足废气处理需求。

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